ProMicron und MikroVision - ihre Partner für angepasste Mikroskopie

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MCS die neue Systemsoftware zur Steuerung von automatisierten Mikroskopen aus dem Hause ProMicron
24.8.2009 | Steuersoftware für (halb-)automatische Mikroskop-Anwendungen, speziell für Handling, Inspektion und Vermessung von Wafern und Masken, aber auch zur Kontrolle von anderen Feinstrukturen.

Folgende MCS-Systeme sind aktuell erhältlich:

MCS-RI Reticle Inspection
System zur Inspektion und Reparatur von Lithografie- Masken und transparenten Substraten.

MCS-OWI Optical Wafer Inspection
Optische Wafer Inspektion für die optische Kontrolle von Wafern

MCS-TFM Thinfilm Measurement
Vollautomatische Dünnfilm Messung

MCS-CD Linewidth Measurement, Critical Dimension
Mikroskopisches Messsystem

MCS-MI Macro Inspection
für die regelmäßige Kontrolle von Wafern im Bearbeitungsprozess

MCS steht für Microscope Control Software. Die Software kann mit verschiedenen Hardware-Konstellationen genutzt werden und bietet ein umfangreiches Interface. Modularität ist dabei das Stichwort. Die übersichtliche Menuführung gliedert die verschiedenen Aufgabenbereiche in:
- Grundfunktionen (Obere Leiste)
- Mikroskop Management (Linke Menuführung)
- Programm Editor (Rechte Menuführung)
- User Management (Zusatzmenu)
- Imaging Editor (Grundeinstellung für automatische Messungen)
- Ergebnis Protokolle (Randmenu-Links)
- Programm Management (Randmenu-Rechts)

Zu den Grundfunktionen gehören die Möglichkeiten:
- Benutzer verwalten
- Dateien/Programme öffnen
- Alles sichern
- Kamera aktivieren/deaktivieren
- Snapshot
- Initialisierung
- Wafer laden/entladen
- Messung durchführen
- alle vorhandenen Screenereignisse löschen

Im Mikroskop Management verankert sind:
- Grundeinstellungen sichern
- Autofocus aktivieren
- Objektivauswahl
- Apertur einstellen, Hellfeld, Graufeld
- Z-Achsen Offest
- Helligkeitseinstellungen

Zum Programm Editor gehören:
- Material bestimmen (Waferstärke, Durchmesser)
- Material Design (Form, Fläche, Anzahl Dies ...)
- Scan Definitionen: Die-basierend, Waferbasierend
- Alignment (z.B. nach Waferflat)

Hier ist auch eine systematische Darstellung des Wafers integriert.
- Dazu gehört auch ein Fehlerclassifikation, in welcher Fehlertypen und ihre Konsequenzen (z.B. Killerdefekte) festgelegt werden können.
- Auch das Handling, z.b. bei der Zusammenarbeit mit einer Handlingsstation kann hier angegeben werden.

Operator-Management (Zusatzmenu)
Das Operator-Management erlaubt einem Administrator alle wichtigen Menu-Punkte zu bearbeiten. Hier kann ausgewählt und eingestellt werden auf welche Parameter des Programms der Operator Zugriff hat und welche bereits im Vorhinein festgelegt werden.

Imaging-Editor (Grundeinstellung für automatische Messungen)
Der Imaging-Editor erlaubt eine genaue Einstellung der notwendigen Parameter für die automatischen Funktionen der Software. So kann hier bei der Strukturbreiten-Messung festgelegt werden nach welchen Kriterien die Strukturen ausgesucht und vermessen werden.

Ergebnis-Protokolle (Randmenu-Links)
Über das Randmenu links ist ein schneller Zugriff auf alle Protokolle möglich. Alle abgespeicherten Files, Ergebnisse, ausgelesenen IDs und auch die Bilder-Gallery können hier eingesehen werden.

Programm Management (Randmenu-Rechts)
Das rechte Randmenu ist für eine Übersicht über die verschiedenen Jobs, Bibliotheken, Programme und ähnliche "Grund-Rezepte" gedacht, die zu Beginn einer automatischen Untersuchung eingelernt werden um damit dann verschiedene Typen bearbeiten zu können.