ProMicron und MikroVision - ihre Partner für angepasste Mikroskopie



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Waferhandling für Makroinspektion und Dokumentation
14.11.2011 | Parfokales Zoom-System erlaubt Bilddokumentation mit komplett Waferübersicht oder hochauflösenden Detailansichten

Das Waferhandlingsystem ist mit verschiedenen anwählbaren Lichtquellen ausgestattet. Zum einen mit einer homogenen Leuchtfeldplatte für Hellfeldinspektion und mit einer Dunkelfeld-Lichtquelle für Inspektion auf Partikel, Kratzer u.s.w..

Weitere Informationen und Angebote finden Sie in unserem Online-Shop unter www.Promicron.de.

Cool LED Power Engine
11.7.2011 | Hochleistungs-Mikroskopbeleuchtung mit integriertem High-Power Controller als effizienter Ersatz für herkömmliches Lampenhaus

Die Cool LED Power Engine gehört zu der neuen energiesparenden, aber lichtstarken und langlebigen Beleuchtungsgeneration, die die herkömmliche Mikroskop-Beleuchtung in den Schatten stellt. Häufiger Lampenwechsel gehört hiermit der Vergangenheit an. Die Cool LED Power Engine mit integriertem High-Power Controller ist als leistungsstarker Ersatz für ein herkömmliches Lampenhaus konzipiert. Passende Adaptionen für unterschiedliche Mikroskoptypen wie z.B Ergoplan, Ergolux, INM Serie, Medilux, DMR-Mikroskope, Axiotron sind erhältlich.

Die Beleuchtung wird ab 12 Watt geliefert und besteht aus einem monolithischen LED Chip, der für eine homogene Leuchtdichteverteilung sorgt. Die Lichtfarbe beträgt 6500 K, weiß, bei ca. 1000 Lumen.
Die Cool LED Power Engine verfügt über einen asphärischen Spezialkollektor aus Glas und eigent sich für Hellfelld, Dunkelfeld, DIC, Polarisation,(Fluoreszenz). Je nach Mikroskoptyp sind manuelle Podis, serielle Kabel für Remote Control und Steckadapter zur Kontrolle der mikroskopeigenen Lampensteuerspannung erhältlich.

Weitere Informationen und Angebote finden Sie in unserem Online-Shop unter www.Promicron.de.

Neuer UV-Spot mit 390 nm zur Fluoreszenz-Anregung
21.3.2011 | Promicron bringt einen leistungsfähigen UV-Spot auf den Markt, der auf vielfältige Weise eingesetzt werden kann: Der UV-Spot findet Z.B. in der Forensik zur Partikeldetektion oder in der Kriminalistik z.B. zur Spurensuche Verwendung.

Auch für Rissdetektion, Prüfung von Geldscheinen und Briefmarken, Phosphoreszenz oder Fotolithografie ist der UV-Spot nützlich. Die 1 Watt UV-Beleuchtung (Artnr. 500528) gehört zur Serie coolSpot25 mit einem Kühlkörper mit 25mm Ø. und hat eine sehr hohe Lebensdauer.
Der Spot kann variabel eingesetzt werden: Für seitliche Auflichtbeleuchtung mit Schwanenhals & Fuß
oder als Einkopplung in die Koaxial Hellfeld Beleuchtung mit dem coolPlug 13mm (10446180)
oder als einfache Fluoreszenzbeleuchtung auch an Leica Auf- und Durchlichtmikroskopen einsetzbar (ein mikroskopspezifischer Lampenadapter wird zusätzlich benötigt). Der coolSpot25 UV wird wie alle LED-Beleuchtungen der Serie cool mit einer coolControl Steuereinheiten von Promicron betrieben werden.

Weitere Informationen und Angebote finden Sie in unserem Online-Shop unter www.Promicron.de.

Herzliche Einladung zur Semicon 2010 Stand 1068 in Halle 1 in Dresden
13.10.2010 | Promicron und Mikrovision stellen ihre neuesten Produkte vor.

Softwaregesteuerte Halbleiter-Mikroskope

Die ständig zunehmende Miniaturisierung, bei der die
Strukturen immer kleiner und die Schichten immer
dünner werden, ist eine große Herausforderung für
Messsysteme. Ein hoher Grad an Präzision in der
Automatisierung ist notwendig, um unter modernen
Produktionsbedingungen Prozesse effektiv zu
kontrollieren. Für diese Anforderungen haben wir ein Modulares
Gesamtsystem unter dem Namen MCS (Microscope Control Software) aufgebaut.

MCS Optical Wafer Inspection

MCS Thinfilm Measurement

MCS Linewidth Measurement

HIGH-Power LED Engine: Mehr als ein Ersatz für Halogen Lampenhäuser

30 Watt HiPower LED Light Lampengehäuse passiv gekühlt
mit asphärischer Kollektoroptik.
Optimale Leuchtdichteverteilung, Helligkeitseinstellung per Drehknopf und
alternativ per PC/Software (Remote Control)

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Solarscope: Das Mikroskop für zerstörungsfreie Prüfung von Groß-Substraten

Das Solarpanel-Scope ist ein tragbares Lichtmikroskop mit Kamera- und Okular-Einblick
zur zerstörungsfreien Prüfung von TFT-, OLED-, und Dünnschichtsolar-Substraten. Es kann durch seine weichen Fußauflagen (Pads), die als Luft- und Vaccumlager ausgebildet sind, um einige Micrometer angehoben werden und gleitet damit im berührungslosen Verfahren über die empfindlichen Oberflächen, z.B. von Dünnschichtsolarzellen. Am Inspektionsort kann es dann auf die Pads abgesetzt und mittels Vaccuum arretiert werden. X- und Y-Achse werden durch einen Feintrieb exakt positioniert.

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Weitere Informationen und Angebote finden Sie in unserem Online-Shop unter www.Promicron.de.

Exklusiv Distributor und neuer Servicepartner von KLA Tencor
23.9.2010 | Promicron ist ab sofort als Exklusiv-Distributor der Firma KLA-Tencor, Milpitas (USA), für Vertrieb und Service von INM Hochleistungsmikroskopen und optischen Profilern in Deutschland, Österreich und der deutschsprachigen Schweiz zuständig.

Die INM100 - INM300 Mikroskopbaureihen wurden ursprünglich in Wetzlar, damals noch unter dem Markennamen Leica, entwickelt. Nach dem Verkauf des Halbleitergeschäfts durch Leica, wurden die in der Halbleiterindustrie bestens eingeführten Systemmikroskope unter der neuen Marke Vistec am Standort Weilburg weiter produziert. Mit der Übenahme von Vistec durch KLA-Tencor wurde eine vertriebs- und servicepolitische Neuausrichtung vollzogen. Durch Einbeziehung von spezialisierten Distributoren wird sichergestellt, dass auch die Mikroskope innerhalb des riesigen KLA-Tencor Produktportfolios optimal kundenorientiert bedient werden.

Promicron mit Sitz in Kirchheim / Neckar betreut als Mikroskopie-Fachunternehmen bereits seit Jahren erfolgreich zahlreiche Kunden in High-Tech Branchen wie der Halbleiterindustrie. Das Portfolio umfasst Mikroskop- Systemlösungen und optische Messanlagen, oft mit kundenspezifischen Modifikationen sowie Serviceleistungen für aktuelle und ältere Geräte.

Auf Basis der rechnersteuerbaren KLA-Tencor Mikroskope hat Promicron eine modular aufgebaute Softwareplattform (MCS) für optische Inspektion, und Strukturprüfung entwickelt. Die MCS Software nutzt die hohe optische Leistungsfähigkeit der INM Serie und Ihre spezifischen Automatisierungsfeatures voll aus und ergänzt sie aufgabenbezogen mit einer übersichtlichen Benutzerschnittstelle. Die Anwendungsspanne der INM Mikroskope reicht damit vom manuellen Inspektionsmikroskop über halbautomatische Systeme für Engineeringaufgaben, bis hin zum vollautomatischen Mess- und Inspektionssystem mit Waferhandling. Spezielle INM-Versionen und entsprechende Objektive erschließen auch UV und Infrarot Mikroskopie (DUV und NIR Spektralbereich) oder Rückseiteninspektion z.B. für dicke Glasmasken / Substrate.
Schnelle Bildverarbeitung und spektroskopische Signalanalyse kommen applikationsbezogen in Modulen für Schichtdickenmessung und Strukturmessung zum Einsatz.

Für Surface Metrology d.h. zur Oberflächencharakterisierung im Nanometerbereich, kommen Verfahren wie Weisslichtinterferenz (scanning whitelight interferometry) und Confocal 3D Imaging zum Einsatz.
In Kombination mit den INM Mikroskopen entstehen so fast \"mikroskopische Alleskönner\".
Die optischen Profiler von KLA-Tencor sind nicht ganz so universell einsetzbar, dafür aber konsquent auf höchste Messgenauigeit und doch einfache Bedienung für Forschung und Analyse designed.

Promicron Kurzprofil:
*KLA Tencor INM - Mikroskope und optische Profiler (whitelight interferometry und phase shift interferometry)
*Service für INM Mikroskope (und für deren Vorgänger-Geräte Leitz Ergoplan, *Leitz MPV-SP / MPV-CD, MIS200)
*Aufrüstung und Modernisierung vorhandener Geräte mit neuer Technik und Software
*Mikroskop Systemlösungen für optische Inspektion, und Strukturvermessung
*Surface Metrology (Scanning Interferometrie und Confocal Imaging)
*Infrarotmikroskope für \"trough wafer inspection and metrology\"
*LED Hochleistungsbeleuchtungen für Mikroskope

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14.11.2011 Waferhandling für Makroinspektion und Dokumentation
Parfokales Zoom-System erlaubt Bilddokumentation mit komplett Waferübersicht oder hochauflösenden Detailansichten

11.7.2011 Cool LED Power Engine
Hochleistungs-Mikroskopbeleuchtung mit integriertem High-Power Controller als effizienter Ersatz für herkömmliches Lampenhaus

21.3.2011 Neuer UV-Spot mit 390 nm zur Fluoreszenz-Anregung
Promicron bringt einen leistungsfähigen UV-Spot auf den Markt, der auf vielfältige Weise eingesetzt werden kann: Der UV-Spot findet Z.B. in der Forensik zur Partikeldetektion oder in der Kriminalistik z.B. zur Spurensuche Verwendung.

13.10.2010 Herzliche Einladung zur Semicon 2010 Stand 1068 in Halle 1 in Dresden
Promicron und Mikrovision stellen ihre neuesten Produkte vor.

23.9.2010 Exklusiv Distributor und neuer Servicepartner von KLA Tencor
Promicron ist ab sofort als Exklusiv-Distributor der Firma KLA-Tencor, Milpitas (USA), für Vertrieb und Service von INM Hochleistungsmikroskopen und optischen Profilern in Deutschland, Österreich und der deutschsprachigen Schweiz zuständig.

23.4.2010 Mess- und Testmikroskop für Solarpanels und andere großflächige Substrate
Das tragbare Solarpanel-Scope ermöglicht direktes Aufsetzen auf Solarmodule. Dadurch können auf großen Flächen Strukturen im Micrometerbereich zerstörungsfrei geprüft und vermessen werden.

02.12.2009 Mit zwei Handgriffen eine C-Mount Kamera an ein beliebiges Mikroskop adaptieren: Der neue Okular-Adapter von ProMicron
Einfach und qualitativ hochwertig, der neue Okular-Adapter von Promicron

14.10.2009 Universal C-Mount System zur Adaption von beliebigen C-Mount Kameras an allen Mikroskopen
Lösung für alle Mikroskope zur Adaption einer Kamera

29.7.2009 Das Digitalmakroskop von ProMicron: Qualitätsprüfung und Sichtkontrolle aus einem Guss
Wie Sie günstig und schnell Ihre Produkte fotografieren, dokumentieren und vermessen

16.7.2009 coolBox Coax: Koaxiales Auflicht für Hellfeld, optimal für Großaufnahmen von Wafern und anderen spiegelnden Flächen
Waferprüfungen auf Defekte und geinkte Dies erfordern eine fotografische Wiedergabe der Oberfläche ohne Spiegelungen. Mit der neuen coolBox Coax von Promicron können Sie so mit einem Foto einen kompletten Wafer ausleuchten.

25.6.2009 Highspeed-Makroskop mit bis zu 1200 Bildern pro Sekunde
Um die kardanische Achse schwenkbares, digitales Makroskop für HighSpeed Video- Aufnahmen. Anwendungsgebiete z.B.: Inspektion von bewegten Teilen, wie z.B. Montagerobotern u. Schwingungselementen

15.6.2009 3D Messung im Nanometerbereich bis in den Subnanometerbereich: Technik, die begeistert von Sensofar - Tech
Mehr Informationen zur Technik von Sensofar - Tech, welche konfokale Messtechnik mit Interferometrie und Schichtdickenmessung kombiniert. Je nach Anwendung kann dabei eine Wiederholbarkeit bis zu 1 Nanometer und weniger garantiert werden.